关于发布原子级制造基础研究重大研究计划2026年度项目指南的通告国科金发计〔2026〕12号国家自然科学基金委员会现发布原子级制造基础研究重大研究计划2026年度项目指南,请申请人及依托单位按项目指南所述要求和注意事项申请，国家自然科学基金委员会2026年1月26日原子级制造基础研究重大研究计划2026年度项目指南原子级制造是指在原子尺度控制材料的结构与成分,其核心是通过原子的精确操控来获得特定功能,突破传统制造技术的精度极限,实现物质的原子级转化与高效利用，一、科学目标本重大研究计划围绕批量原子操控这一核心目标,聚焦原子尺度下物质与能量的相互作用原理,实现材料成分和结构的原子级构筑和测量表征,构建原子级制造核心技术体系,为亚纳米芯片制造、量子计算、新能源材料以及航空航天等领域提供原子级精度的制造解决方案,抢占尖端制造领域制高点,为国家培养和储备未来制造战略人才,为实现科教兴国战略和中华民族伟大复兴提供独特的技术支撑，揭示限域空间内外场协同作用下原子级结构基元的可控扩散迁移和能量传递机制,建立表面局域性质调控的原子级结构基元精准合成和组装机理,实现三维异质异构结构的原子级精度高效构筑与缺陷最小化，围绕上述科学问题,以总体科学目标为牵引,对于探索性强、选题新颖、前期研究基础较好的申请项目,将以培育项目的方式予以资助,具体研究方向如下:1.原子级制造物质科学原理，围绕前沿科学问题和产业重大需求,对总体科学目标有较大贡献的申请项目,将以重点支持项目的方式予以资助,鼓励与企业联合申报,具体研究方向如下:1.原子级制造物质科学原理，开展可稳定去除原子层的微纳切削工具制造原理研究,揭示原子尺度下工具与切削表面相互作用中的晶格动态响应规律及原子层的可控一致性迁移去除原理,阐明从连续介质力学主导向量子效应显现的物理过渡机制与尺度效应,建立跨尺度原子级切削的实验方法与基础理论体系，开展关键半导体材料高确定性能束逐原子层加工的原理与方法研究,发展异质界面原子的层级迁移与能控原理,构建界面材料加工中的电声耦合响应原子模型,揭示原子沉积、迁移与选择性去除的协同调控规律,突破核心器件表面单/双原子层限域加工的共性技术瓶颈，开展陶瓷曲面原子级精度抛光及宏观形性调控方法研究,揭示硬脆性陶瓷材料原子级高效去除机理,阐明去除过程中表面及亚表面缺陷的诱发及演化规律,形成宏微观表面形貌及曲面面型创成方法,突破陶瓷材料原子级精度可控去除及宏观控形控性技术瓶颈,推动关键零部件精密制造，研究多场耦合作用下异质材料的原子级界面构筑与集成方法,揭示异质界面向原子级平整收敛的演化规律及其与宏观性能的构效关系,支撑耐受极端环境的关键材料与新原理器件制造，探究多元氧化物半导体稳态界面的原子级构筑机理与演化规律,构建原子层沉积/刻蚀等协同加工工艺与装备耦合作用下的缺陷生成机制及主动抑制理论模型,实现亚纳米尺度稳态界面结构与低缺陷态密度的精准可控调控,突破高性能氧化物阵列器件的界面物理瓶颈,为新一代高性能集成电路芯片的研发提供支撑，开展原子尺度制造过程的测量表征与宏观表面演化的关联性研究,揭示材料去除及表面演化进程中原子级特征的跨尺度传递规律,阐明其对宏观表面形貌与性能的调控机理，围绕核心科学问题,对于前期研究成果积累丰富、对总体目标有重大贡献、具有重大应用转化价值的申请项目,将以集成项目的方式予以资助，开展多场协同原子级加工的新原理与新方法研究,揭示外场作用下表面原子层精准、一致去除的定域定势调控机理,提升多源能场和耦合能束的精准控制能力,通过将能量精准作用于原子及原子层尺度材料,突破同质表面的原子层无损精准去除、异质/异构表面的原子级同步去除、以及复杂曲面全频段的原子级精准可控加工等核心关键技术,形成加工精度、缺陷控制及误差逼近物理极限的原子级精度表面去除工艺体系，(4)申请人在申请书起始部分应明确说明申请符合本项目指南中的资助研究方向(写明指南中的资助研究方向序号和相应内容),以及对解决本重大研究计划核心科学问题、实现本重大研究计划科学目标的贡献(上述描述不少于800字)。