国家自然科学基金委员会2026年1月26日原子级制造基础研究重大研究计划2026年度项目指南原子级制造是指在原子尺度控制材料的结构与成分，二、核心科学问题本重大研究计划围绕以下三个核心科学问题展开研究：（一）原子级结构基元与能场的相互作用机制，具体研究方向如下：1.原子级制造物质科学原理，具体研究方向如下：1.原子级制造物质科学原理，（2）跨尺度表面原子级切削新方法及去除原理，揭示原子尺度下工具与切削表面相互作用中的晶格动态响应规律及原子层的可控一致性迁移去除原理，建立拓扑光子结构与器件的原子级制造新方法，研究耐高温半导体器件中多组分材料的原子级构筑以及批量制造原理，研究多场耦合作用下异质材料的原子级界面构筑与集成方法，开展原子尺度制造过程的测量表征与宏观表面演化的关联性研究，本计划2026年度拟资助集成项目的研究方向如下：面向高端芯片的原子级精度表面加工基础研究，突破同质表面的原子层无损精准去除、异质/异构表面的原子级同步去除、以及复杂曲面全频段的原子级精准可控加工等核心关键技术，申请人应根据本重大研究计划拟解决的核心科学问题和项目指南公布的拟资助研究方向，（3）项目申请人在信息系统中选择“在线申请”—“新增项目申请”—“申请交叉科学部项目”进行项目申报，（4）申请人在申请书起始部分应明确说明申请符合本项目指南中的资助研究方向（写明指南中的资助研究方向序号和相应内容）。