国家自然科学基金委员会（以下简称自然科学基金委）工程与材料学部拟资助“芯片亚纳米级制造前沿探索”原创探索计划项目（以下简称原创项目），因此亟需发展面向未来芯片的亚纳米级制造新原理与新方法，二、资助方向（一）芯片制造过程中的亚纳米级去除新原理与新方法，形成宏观尺度互连异质表面亚纳米级一致去除控制的抛光工艺、技术与装备，（三）第四代半导体材料的亚纳米级制造新原理，（四）芯片亚纳米级制造过程中的缺陷检测与修复，探索芯片亚纳米级制造过程中缺陷的形成机制，1.申请人同年只能申请1项原创项目（含预申请），2.原创项目从预申请开始直到自然科学基金委做出资助与否决定之前，3.应符合《2023年度国家自然科学基金项目指南》中对申请项目数量的限制，申请人按照信息系统中的有关提示填写预申请相关内容后直接提交至自然科学基金委，应按照“专项项目-原创探索计划项目正式申请书撰写提纲”要求填写正式申请书，6.自然科学基金委项目材料接收工作组负责接收申请材料，自然科学基金委将在官方网站公布资助原创项目基本信息，原创项目申请与资助不设复审环节。