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2023年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“集成电路关键材料前沿探索”项目指南

国家自然科学基金委员会 | 2023-11-13
国家自然科学基金委员会(以下简称自然科学基金委)工程与材料科学部拟资助“集成电路关键材料前沿探索”原创探索计划项目(以下简称原创项目),具体科学目标如下:(1)聚焦光刻胶、柔性集成电路载板等高分子材料的结构设计、固化机制及复合材料界面微结构演变与失效机理,发展低功耗、高集成度器件应用所需的新型非硅CMOS沟道材料、晶体栅介质材料、高效电光调制系数材料和三维堆叠铁电存储阵列材料,发展缺陷控制及封装光刻胶多功能化的新原理和新方法,(三)集成电路用高分子复合材料界面微结构演变与失效机理研究,发展突破尺寸微缩极限的高质量、低缺陷二维半导体材料等新型沟道材料,发展高密度三维堆叠存储阵列新型铁电材料,1.申请人同年只能申请1项原创项目(含预申请),2.原创项目从预申请开始直到自然科学基金委做出资助与否决定之前,3.应符合《2023年度国家自然科学基金项目指南》中对申请项目数量的限制,点击“原创项目预申请”,申请人按照信息系统中的有关提示填写预申请相关内容后直接提交至自然科学基金委,6.自然科学基金委项目材料接收工作组负责接收申请材料,自然科学基金委将在官方网站公布资助原创项目基本信息,原创项目申请与资助不设复审环节。

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