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市科技局搭台服务 国内顶尖专家联合 为我市攻克深圳芯片产业难题项目做成果评价

哈尔滨科学技术局 | 2022-09-27
哈尔滨市科技评估咨询有限公司组织国内环境及微电子等相关领域知名专家学者,共同组成专家评委会,对我市工大环境股份有限公司“芯片生产废水资源化处里关键技术及装备”项目进行成果评价,深圳是我国芯片生产的主要城市之一,每年有大量芯片生产废水需要处理,工大环境股份有限公司“芯片生产废水资源化处里关键技术及装备”项目与传统处理芯片废水工艺相比可节约用地70%、投资成本减少50%、处理后污水含氟量低于国家标准的1/10,达到地表水Ш类标准,该项目已在中芯国际集成电路制造(深圳)有限公司12英寸集成电路项目废水深度处理工程进行了应用示范,承担每天处理500吨芯片废水的中试工程,攻克了深圳芯片产业废水处理的难题,经过专家委员会评价,最终得出“该项目核心技术及成套设备具有原创性和先进性,其独有的丸粒结晶除氟技术处于国际领先水平”的成果评价,该项目已具备根据企业污水排放总量进行产业化处理能力,我国芯片企业每年排放废水超过1000万立方米,该项目的产业化推广应用将大力推动我国芯片产业实现绿色发展。

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