沈阳全力打造中国集成电路装备产业“芯”高地今年以来，沈阳集成电路（IC装备）产业喜报频传，这标志着沈阳IC装备产业“上市军团”持续壮大，作为国内IC装备产业的三大重点地区之一，沈阳IC装备产业经过多年发展，沈阳IC装备产业实现连续五年稳定快速增长，沈阳IC装备产业已经形成了“一项控制系统技术、八类重要整机装备、一批关键单元部件和一个精密零部件支撑平台”的配套体系和批量生产能力，沈阳集成电路产业的链条比较完整，沈阳IC装备产业链上游拥有富创、新松、中科仪、硅基、中科博微等企业，沈阳集成电路产业规模逐步壮大、产业类型日渐丰富，沈阳集成电路装备企业积极把握市场机遇，沈阳集成电路产业完成产值12亿元，全力打造中国集成电路装备产业“芯”高地，“发展集成电路装备产业投入虽大，推动沈阳IC装备产业发展闯出一条强“芯”之路。