第二章企业科技创新奖励第五条当年首次新认定的高新技术企业、专精特新中小企业，第九条首次申报成为省级科技型中小企业或创新型中小企业的给予3万元/家奖励，首次申报成为专精特新“小巨人”企业给予100万元的一次性奖励，单个企业最高不超过10万元/年，第三章平台载体创新奖励第十三条新认定的国家级科技企业孵化器、众创空间和星创天地分别给予100万元、50万元、30万元的一次性奖励，新认定的省级科技企业孵化器、众创空间和星创天地分别给予40万元、30万元、20万元的一次性奖励，新认定的市级科技企业孵化器、众创空间和星创天地分别给予20万元、15万元、10万元的一次性奖励，年度绩效考评结果为“优秀”的市级科技企业孵化器、众创空间、星创天地分别给予10万元、5万元、5万元的一次性奖励，年度绩效考评结果为“良好”的市级科技企业孵化器、众创空间、星创天地分别给予5万元、2.5万元、2.5万元的一次性奖励，给予每家最高不超过100万元奖励，其中专精特新中小企业、高新技术企业（中小企业）总额最高不超过50万元，每家信用担保机构每年度补贴总额最高不超过50万元，给予知识产权服务机构或其分支机构10万元的一次性奖励，单个市场主体年度获得市级专利资助资金总额最高不超过30万元，所有市场主体年度获得市级专利资助资金总额最高不超过500万元。