按20元/㎡给予厂房建设补贴,5万㎡（含）至10万㎡（不含）的，补贴金额省内不超过50万元，按200元/㎡给予补贴;装修万级无尘车间的按500元/㎡给予补贴;装修千级及以上无尘车间的按1000元/㎡给予补贴，无尘车间装修补贴金额不得超过装修总款的30%且总额不超过1000万元，根据其贡献可享受如下支持(原则上供地企业本条所有补贴之和不超过其前五年税收总额等额的35%，按20元/㎡给予厂房建设补贴,5万㎡（含）至10万㎡（不含）的，补贴金额省内不超过20万元，无尘车间装修补贴金额不得超过装修总款的30%且总额不超过500万元，补贴金额不得超过装修总款的30%（提供装修合同和支付凭证）且总额不超过20万元，年补贴金额不超过2万元，单个企业年度累计奖励不超过50万元，对工业企业首次年销售收入达到10亿元、5亿元的分别一次性奖励企业管理团队20万元、10万元，最高补贴不超过100万元，对科技成果转化的企业投产后一年内税收达到500万元、1000万元、2000万元、3000万元的，一次性给予企业3万元/件的奖励;对获得国际专利(PCT)授权的每件资助5万元。